miniatura|Fig.1 Exemple de processos de tecnologia MOSFET: TecnologiaAny10 um19716 um19743 um19771,5 um19821 um1985800 nm1989600 nm1994350 nm1995250 nm1997180 nm1999130 nm200190 nm200465 nm200645 nm200832 nm201022 nm201214 nm201410 nm20177 nm20185 nm20193 nm~20212 nm~2023 LInternational Technology Roadmap for Semiconductors (amb acrònim ITRS) és un conjunt de documents produïts per un grup d'experts en la indústria dels semiconductors. Aquests experts són representants de les organitzacions patrocinadores que inclouen les associacions de la indústria de semiconductors de Taiwan, Corea del Sud, els Estats Units, Europa, el Japó i la Xina. A partir del 2017, l'ITRS ja no s'actualitza. El seu successor és el full de ruta internacional per a dispositius i sistemes.
Els documents contenien una exempció de responsabilitat: "L'ITRS està dissenyat i pensat només per a l'avaluació de tecnologia i sense tenir en compte cap consideració comercial relacionada amb productes o equips individuals".
Els documents representen la millor opinió sobre les direccions de la investigació i les línies de temps fins a uns 15 anys en el futur per a les següents àrees de tecnologia:
Muntatge i embalatge. Medi ambient, seguretat i salut. Millora del rendiment. Metrologia. Modelatge i simulació. Dispositius de recerca emergents. Materials de recerca emergents. Integració a fàbrica.
Controladors/disseny del sistema. Equips de prova. Processos front-end. Integració de processos, dispositius i estructures. Tecnologies de radiofreqüència i de senyal analògic/mixt. Sistemes microelectromecànics (MEMS). Fotolitografia Interconnexions IC.
Referències
Categoria:Semiconductors