Typpitrifluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kaava on NF3. Ulkomuodoltaan se on väritöntä ja palamatonta kaasua. Sitä käytetään puolijohteiden plasmaetsauksessa.
Se reagoi fluorin ja antimonipentafluoridin kanssa tuottaen tetrafluoriammoniumsuolaa, tetrafluoriammoniumheksafluoroantimonaattia. NF3 + F2 + SbF5 → NF4+SbF−6
Kasvihuonekaasu Typpitrifluoridin GWP-indeksi on 17 200 kertaa suurempi kuin hiilidioksidin ja sen elinajaksi ilmakehässä arvioidaan 740 vuotta. Toisissa tutkimuksissa sen elinajaksi arvioidaan 550 vuotta, mikä pudottaa sen GWP-indeksin 16 800:een. Käytön jälkeen suurin osa kaasusta tuhotaan, ja muutaman tutkimuksen mukaan vain 2–3 % pääsee ilmakehään.
Turvallisuus Aine tulee pitää erillään palavista ja pelkistävistä aineista. Se voi imeytyä elimistöön hengitysteitse ja pitkäaikaisella altistuksella saattaa olla vaikutuksia maksaan ja munuaisiin.
Lähteet
Aiheesta muualla
Luokka:Fluoridit Luokka:Typpiyhdisteet Luokka:Kasvihuonekaasut