マイクロチャンネルプレート (micro-channel plate、MCP) とは荷電粒子（電子やイオン等)を増幅する装置である。構造は微小な光電子増倍管を束ねた構造になっているので、紫外線やX線等の光子を検出することも可能。入射した荷電粒子や光子等により生じた電子が二次電子増倍により増幅することにより、高感度で検出することが可能である。
基本構造 thumb|2段マイクロチャンネルプレート検出器 マイクロチャンネルプレートは通常2mm厚の高い絶縁性の材料(主にガラス)で作られる。細い管若しくは溝(マイクロチャンネル)が一方の面から反対側の面へ貫通している。 細孔の径は通常10μmである。他のチャンネルとは15μm離れている。表面に対して8°程度傾いている。
製造工程 鉛ガラスの管の内部にソーダガラスを充填して加熱して融着して引き伸ばす。それらを束ねてからまた加熱して融着して引き伸ばす。この工程を数回繰り返した後、8°の傾斜で薄くスライスする。その後、ソーダガラスの部分を薬品で溶かして除去する。水素ガス中でマイクロチャンネルプレートの内壁の鉛ガラス内の鉛を還元して導電性を付与する。マイクロチャンネルプレートに光電効果物質を塗布した光電面のガラス板と蛍光体を塗布した後部のガラス板を取り付けて封止する 。
作動 荷電粒子や光子が入射することにより電子が飛び出し、それがチャンネルの壁に当たって電子雪崩により電子が増幅される。 入射側の反対に電極を設置し、検出する。蛍光板を設置すると、これを光らせることができるため、暗視装置に使用されることもある 。
検出器 外部から印加する電圧は100Vから1,000Vである。増幅率を上げるために電圧を上げると漏れ電流が増えてノイズが増加する。そこでMCPを直列に設置して2段階で増倍させる。これにより高感度の検出が可能となる。
出典
参考
関連項目 粒子検出器 光検出器 暗視装置 ファラデーカップ 光電子増倍管
外部リンク Microchannel Plate Principles of Operation NASA's Imagine the Universe burle Burle Burle Burle Burle