有機エレクトロルミネッセンス(ゆうきエレクトロルミネッセンス、)、とは発光を伴う物理現象であり、その現象を利用した有機発光ダイオード(、)や発光ポリマー(はっこうポリマー、)とも呼ばれる製品一般も指す。
これらの発光素子は発光層が有機化合物から成る発光ダイオード (LED) を構成しており、有機化合物中に注入された電子と正孔の再結合によって生じた励起子(エキシトン)によって発光する。日本では慣習的に「有機EL」と呼ばれることが多い。次世代ディスプレイのほか、LED照明と同様に次世代照明技術としても期待されている。
歴史
発明 1950年代初頭、フランスのナンシー大学のらが有機ELを発見した。塩素酸マグネシウムまたはセロファンに有機染料を吸着させた素子に交流電場をかけて発光させた。
1960年にニューヨーク大学のらが、有機結晶へのオーミック暗電流注入電極接触を開発した。さらに、正孔および電子注入電極接触に必要なエネルギー要件(仕事関数)を示した。これらの接触は、現代のすべての有機ELデバイスにおける電荷注入の基礎となっている。また、63年には薄いアントラセン結晶(10~20 µm)に電極を付け 400Vもの大電圧をかけ初めて直流電流で発光させた。
1965年、らはキャリア注入電極を工夫することで低仕事関数の液体電極を用いてホールと電子の注入効率を向上させ、アントラセン単結晶で初めて二重注入型結合電界ELを発光させた。これは現代の二重注入デバイスの先駆けである。また現在の重要な技術の一つである発光性不純物をドープした研究が、H.P. Schwobらによって報告された。彼らはアントラセンに1 ppmのテトラセンをドープし、アントラセンとテトラセンの両発光量が電流密度によって変わることを示した。しかしこの時点では結晶の厚さが数十μ~数mmと厚いため、発光には高電圧が必要だった。
そのため薄層化の研究が盛んに行われた。その中でも、イギリス国立物理学研究所のRoger Partridgeが1983年に報告した、ポリマーフィルムのELの初観測は現在につながる研究となった。
実用化 現在もっともよく用いられている有機EL積層機能分離型デバイス発光素子C.W.Tang, S.A.VanSlyke, "Organic electroluminescent diodes,". Appl. Phys. Lett., Vol.51(12), (1987), pp.913-915.は1987年に米イーストマン・コダック社の鄧青雲、らによって発明されたKho, Mu-Jeong, Javed, T., Mark, R., Maier, E., and David, C. (2008) 'Final Report: OLED Solid State Lighting - Kodak European Research' MOTI (Management of Technology and Innovation) Project, Judge Business School of the University of Cambridge and Kodak European Research, Final Report presented in 04 March 2008 at Kodak European Research at Cambridge Science Park, Cambridge, UK., pages 1-12.。このSH構造の有機EL素子の特性は、10 VのDC電圧で1000 cd/m、1.5 lm/Wを達成し、従来の報告を大きく上回った。
ポリマーELの研究は、1990年にケンブリッジ大学キャヴェンディッシュ研究所のJ. H. Burroughesらにより、ポリ(p-フェニレンビニレン)の厚さ100 nm のフィルムを使用した高効率な緑色発光ポリマーベースのデバイスが報告されて最高潮に達した。分子材料から高分子材料への移行により、これまでの有機膜の長期安定性の問題が解決され、高品質な膜を容易に作ることが可能になった。その後の研究では、多層ポリマーが開発され、プラスチックELや有機ELの研究・デバイス化という新しい分野が急速に発展していった。1995年に山形大学の城戸淳二らが開発した白色有機ELは、有機ELバックライトディスプレイや照明の実用化を実現した。
商業化
コダックと三洋電機は1999年に有機ELディスプレイの共同研究・開発・生産で提携した。同年9月には、世界初の2.4インチのアクティブ・マトリクス型フルカラー有機ELディスプレイを発表した。2002年9月には、CEATECでカラーフィルター付き白色有機ELをベースにした15インチHDTVフォーマットのディスプレイの試作機を発表した。
低分子有機ELの製造は、1997年にパイオニアが開始し、2001年にTDK、2002年には後に世界最大の有機ELディスプレイメーカーとして市場拡大に大きく貢献するサムスンディスプレイとなるSamsung-NEC Mobile Display(SNMD)も参入したhttps://www.ewh.ieee.org/soc/cpmt/presentations/cpmt0401a.pdf。
2007年に発売されたソニーのXEL-1は、初の有機ELテレビとなった。
2017年12月5日には、ソニーとパナソニックの印刷可能な有機EL事業部門を継承するJOLEDが、世界で初めてインクジェット印刷された有機ELパネルの商業出荷を開始した。
有機EL材料会社の一つであるは、工場こそ持っていないが、世界の大手有機ELメーカーが採用している有機ELの製品化に関する特許を多数保有していることで莫大な利益をあげている。
有機ELの発光原理 陰極および陽極に電圧をかけることにより各々から電子と正孔を注入する。注入された電子と正孔がそれぞれの電子輸送層・正孔輸送層を通過し、発光層で結合する。
結合によるエネルギーで発光層の発光材料が励起される。その励起状態から再び基底状態に戻る際に光を発生する。励起状態(一重項)からそのまま基底状態に戻る発光が蛍光であり、一重項状態からややエネルギー準位の低い三重項状態を経由し基底状態に戻る際の発光を利用すれば燐光である。励起しても光に上手く利用できないエネルギーは無放射失活(熱失活)する。
陰極にはアルミニウムや銀・マグネシウム合金、カルシウム等の金属薄膜を、陽極には酸化インジウムスズと呼ばれる透明な金属薄膜を使う。発生した光は反射面で反射され、透明電極と基板(ガラス板やプラスチック板など)を透過する。
発光材料 有機EL素子材料にはさまざまな材料が試されてきた。それらは大きく高分子と低分子のどちらかに分けられる。ポリマー状の分子を用いたものが高分子材料であり、それ以外の分子を用いたものが低分子材料である他に中間のオリゴマー(デンドリマー)を用いた種類もあるが、一般的な方法ではない。。 さらに発光層では蛍光材料と燐光材料に分けられる。低分子材料を用いた有機EL素子は、必然的に発光のために層構造が多層化し、少なくともホール輸送層・発光層・電子輸送層から構成される低分子材料を用いた有機EL素子では、ホール輸送層と電子輸送層に加えて、各々に”注入層”が1層ずつ付加されることがある。。この場合の多層構造は精密に厚みが制御された薄膜である必要があるため、一般に真空蒸着が必要となる。 高分子材料を用いた有機EL素子は、輸送層や発光層などの精密な多層構造を必要とせず、各層の機能を兼ね備えた1種類の有機物を1層だけ用いる。このため、印刷などの方法が利用できる斎藤勝裕『図解雑学 有機ELと最新ディスプレイ』ナツメ社、2009年1月5日発行。 蛍光材料 前述一重項発光を利用した材料で、光の三原色となる赤・緑・青色ともコスト・寿命・耐久性・成膜性に充分な要件を持った材料がそろっている。 白色有機EL()は山形大学の城戸淳二の研究室によって1993年に発見された。有機ELの照明と大型ディスプレイパネルは白色有機ELによって実用化が可能になった。 燐光材料 前述の三重項発光を利用した材料であり、原理的に蛍光材料よりはるかに発光効率がよい。しかし燐光材料は寿命、電流増加時の効率低下(三重項-三重項消滅)、精製の困難さ、熱耐性など問題があったが、現在は赤や緑などの材料が実用化され普及している。 青色はまだ十分な特性を持つ材料が開発されておらず、実用化には至っていない。各社がこの青色燐光材料の開発競争を続けている状況である(2016年現在)有機EL興隆 日系化学企業の底力 《3》 青色リン光の実用急ぐ 化学工業日報 2016年5月18日。 低分子材料 低分子材料では主に真空蒸着を使用し、有機材料の薄膜化・積層化が可能なメリットを生かしてデバイスを作成している。高分子材料と比したとき、低分子材料の欠点として製造技術が挙げられる。デバイスにする際、薄膜製造(後述)には透明のガラス基板やプラスチック基板に蒸着させる方法が一般的である。しかし通常のシャドウマスクを用いた色分け成膜技術はシャドウマスクの精度、熱膨張の観点から大型化が困難である。現状の有機ELディスプレイが小型のものに限られるのはそのためである(2008年段階)。この問題を解決するために様々な手法が提案されている(「解像度」の項を参照)。印刷技術に対応するため可溶性を持たせた低分子材料も研究開発が行われている。 高分子材料 高分子材料はそれをインクとした印刷技術の応用により大量・安価・大型の有機ELデバイスが容易に生産できると言われ、次世代の材料として日本国内の大手印刷会社・化学企業・電気家電メーカー等で研究開発が続けられている。しかし高分子材料で有機EL素子を作成する場合、層間の材料同士が溶解しやすく有機ELに不可欠な後述のヘテロ構造を持たせることが非常に困難である。そのため単層ないし少数の層の素子構造しかできず、多くの機能(各層の機能)をこれら単数または少数の層や材料に持たせる必要がある。したがって高分子材料の分子設計への要求は低分子材料のそれに比べて非常に高い。
製膜技術 真空蒸着法 真空蒸着法は、主に低分子化合物を材料とする有機EL素子の薄膜を製造する際に用いる技術である。真空のチャンバー内で、原料化合物を加熱し蒸発させる。すると真空チャンバー内に置かれた基板の上に、化合物が薄く(数nm-数百nm)蒸着される。赤、緑、青と塗り分ける際はスリットを用いるスプレーで正確に文字を書く際に、スリットを用いて塗り分けるため。。前節の通りスリットを用いる製造法では製造基板の大型化は困難であるが現在ほとんどの有機EL商品が真空蒸着法で製造されている。 印刷技術法 インクジェット技術などの印刷技術を利用し、インク状にした有機EL材料を基板上で薄膜にし素子を作成する技術。大型ディスプレイの製造に有用であるが前述のとおり高分子材料の開発が難航し、中型の量産ラインが2019年11月にようやく稼働したばかりである。
有機ELディスプレイ 以下では有機ELディスプレイについて解説する。単に「有機EL」といった場合、有機ELディスプレイを指すことも多い。駆動方式によりアクティブマトリクス型(AM-OLED、アモレッド)とパッシブマトリクス型(PM-OLED)に大別される。 構造 有機ELディスプレイは、各画素ごとに発光素子が構成されている。その発光素子は金属等の陰電極 / 電子注入層 / 電子輸送層 / 発光層 / 正孔輸送層 / 正孔注入層 / ITO等の陽電極そしてガラス板や透明のプラスチック板などの基板よりなる電子・正孔注入層や電子・正孔輸送層がない種類もある。。
こうしたサンドイッチ状の構造はヘテロ構造と呼ばれ、電子と正孔をそれぞれ別の層に閉じ込めることによって効率的な反応を起こすことができる。各層の材料にはジアミン、アントラセン、金属錯体などの有機物が使用されている。
電極間の各層の厚さは数nmから数百nmであり、全体で1μm以下程度の厚さしかない。また基板もフレキシブルなプラスチック等を利用することにより、フレキシブル(曲げられる)ディスプレイや照明の製造も可能である。
駆動方式
液晶ディスプレイと同様、ドットマトリクス表示の多数の画素にそれぞれ電極の配線をしようとしても基板周縁部にすべての端子が取り出せなくなることからTFT(薄膜トランジスタ)などのアクティブ素子を各画素に配置して駆動するか(アクティブ・マトリクス駆動)直交させたストライプ電極にタイミングを合わせて電流を流すことでその交点の各画素を順次駆動するか(パッシブ・マトリクス駆動)のどちらかの駆動方式が使われる。なお、駆動方式に関する特許出願動向が「有機EL表示装置の駆動技術」として特許庁より公表されている。 パッシブ・マトリクス パッシブ・マトリクス駆動は構造は単純だが瞬間的に光らせるのは1ラインであるため、その瞬間の発光輝度を大きくしている。よって素子の寿命が短くなってしまう欠点がある。また、パッシブ方式では(単純マトリクス駆動の液晶ディスプレイと同様)クロストークによる画質低下が問題になるただし有機EL素子はダイオードであるので、単純マトリクス駆動の液晶ディスプレイよりクロストーク等の面で画質的には優れる。。液晶ではSTN型がパッシブ・マトリクスに対応する。
アクティブ・マトリクス
パッシブ・マトリクス駆動の欠点は大型化でより深刻になるため、大型パネルにはアクティブ・マトリクス駆動が採用される傾向にある。しかし、同様の事情がある液晶ディスプレイより複雑な回路液晶ディスプレイの画素回路は単なるスイッチの作用をすれば良いため各画素に1つのトランジスタと1つのコンデンサですむが有機ELディスプレイの画素回路は発光素子に通電する電流を厳密に制御する必要があり、各画素に2個以上のトランジスタによる電流制御回路が組み込まれる。また画素トランジスタの微妙な特性バラツキが画質に反映されるため、バラツキ補正回路を組み込む例が多い。なお、トランジスタのバラツキの影響を受けない駆動方式も開発されている。を組み込む必要がある場合が多い。液晶では、TFT型がアクティブ・マトリクスに対応する。
TFTにアモルファス・シリコンを使用すれば画素ごとのバラツキが少なくなるが、経年変化が大きくなる。低温多結晶シリコンを使用すれば、経年変化が小さくてすむかわりに画素ごとのバラツキが大きくなる。いずれのTFTにおいても画素ごとのバラツキを補正する回路を付加すればよいが、TFTが増えると量産がしやすいボトム・エミッション型(発光面がTFT回路面を通過することになる)のままでは開口率が低下するので、発光面が逆のトップ・エミッション型が検討される。
カラー化方式 有機ELディスプレイのカラー化方式には、RGB3色塗り分け方式・カラーフィルター方式・色変換方式の3種類がある。
RGB3色塗り分け方式 赤色・緑色・青色の発光層をそれぞれ用いる方式。色純度を向上させるため、カラーフィルターを併用する場合もある【西川善司の大画面☆マニア】第171回:CES特別編 4Kに見る映像の未来【1】 AV Watch 2013年1月10日。
カラーフィルター方式 白色発光層を用い、液晶ディスプレイと同様にカラーフィルターを通すことで赤色・緑色・青色を得る方式。発光層が単色であるため塗り分け方式と比べて製造が容易であり、カラーフィルターには液晶ディスプレイの製造技術を応用できるため、テレビ用途等大型化に適している。⇒大型化参照。
色変換方式(量子ドット方式) 青色発光層を用い、その発光の一部を色変換層へ通すことにより赤色・緑色を得る方式。波長の短い色への色変換は困難であり、また青色材料の開発も赤・緑に比べ難しく十分な材料も乏しいため、以前ではほとんど使われていない方式であったが、量子ドット技術の進歩により、マイクロLEDと並んで次世代ディスプレイとして注目されるようになった。また、青色LEDに希土類錯体などの色変換材料を組み合わせた白色照明の開発も行われている岩永寛規、相賀史彦、天野昌夫「新規透明蛍光体の創製と発光デバイスへの応用」東芝レビュー、2007年、Vol.62、No.5。。
特徴 有機ELのディスプレイとしての特徴は、実用化が進んでいる液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどとの対比で語られることが多い。
応答速度画面の色が変化するのにかかる時間。通常は「黒→白→黒」の変化に要する時間を言う。単位は「ms(ミリセカンド、1/1000秒)」。 液晶ディスプレイでは液晶の分子の方向を変えることで輝度を変えているため、応答速度が鈍く動画再生などで問題になる。それに対し有機ELは励起子の寿命が非常に短く電流を変化させれば輝度が瞬時に変化するので、非常に応答速度が速い。また液晶ディスプレイでは応答速度が環境温度に依存し、低温では応答速度がさらに鈍くなる。しかし有機ELディスプレイでは低温でも応答速度は変わらない。
視野角 液晶のような見る方向によって階調が反転してしまうという現象がなく、またコントラストの低下も低く視野角は180度に限りなく近い。プリズムシートで集光して表面輝度を向上させている液晶ディスプレイとは異なりランバート分布に近い発光分布を持つが、マイクロキャビティー効果を用いることで集光させることも可能である。ただし、注意深く設計されていない場合には色調が観察方向に依存してしまう例えば、次のリンク先には色調がずれる現象とそれに対する解決方法が示されている。視野角の優れるIPS液晶との比較で色調が大きくずれる様子は、例えば次を参照。。
解像度 蒸着でのメタルマスクによるRGB塗り分けでは解像度がシャドウマスクの精度および蒸着時の変形などにより制限され、当初は解像度は200ppiから300ppiが上限であるとされ、代替法が多数提案されたメタル・マスクによる蒸着法。レーザー熱転写方式(LITI法M.Wolk et al, "Laser thermal patterning of OLED materials", SPIE Proceeding, Vol.5519, pp.12-23, 2004:3M)やレーザー再蒸着方式であるRIST法M.Boroson et al., "Non-Contact OLED Color Patterning by Radiation-Induced Sublimation Transfer(RIST)", SID2005 Digest, p.972, 2005(コダック)や、ドナーシートの材質の違うLIPS法(ソニー)といったシャドウマスクの制限を伴わない技術が開発された。しかしながら、どれも原理的に非常に高コストであり、モバイルディスプレイの分野ではサムスンディスプレイが、一時はレーザー熱転写の導入を検討したものの、メタルマスクによる蒸着での解像度の向上を続け、現在ではペンタイルやダイアモンドピクセルなどの技術と合わせて500ppiを超える製品を量産しているHow Did Samsung Achieve Full HD in the Samsung Galaxy S4 AMOLED Display? | DisplaySearch Blog。さらに、蒸着でのメタルマスクによる制限を緩和できる白色有機ELにカラーフィルターを用いた方式では300ppiを超える試作品が多く発表され、カラーで1000ppiを超えるものも発表されているSEL Demos 2.8-inch 1,058ppi OLED Panel - Nikkei Technology Online。このように蒸着法の技術の進歩によりいまだ蒸着法に代わるものは実用化されていない。低コストの見込める印刷法では当初は上限が150ppi程度とされていたが、こちらも実用化はされていないものの、2014年現在蒸着法にせまる解像度を実現する製法がいくつか発表されているhttp://www.nikkan.co.jp/news/nkx0820130625cbbm.html。また画素には液晶の場合1個以上、有機ELの場合2個以上のTFTが必要であるため高解像度ディスプレイの場合には制約となりうるが、トップエミッションW.Graupner et al., "High Resolution Color Organic Light Emitting Diode Microdisplay Fabrication Method", SPIE Proceedings 4207, 11-19(2000)T.Sasaoka et al., "A 13.0-inch AM-OLED Display with Top Emitting Structure and Adaptive Current Mode Programmed Pixel Circuit(TAC)," SID Digest, Vol.32, pp.384-387, June 2001などが開発されている。
駆動電圧・消費電力・発光効率 プラズマディスプレイのような放電発光ではなく有機半導体内の励起子により発光するので、発光そのものに必要な電圧も数V程度と低い。また有機ELの発光効率も近年飛躍的に向上している。さらに発光材料として蛍光材料が広く用いられているが、原理的に効率の高い燐光材料の開発が進んでおり、さらなる高効率化が期待できる。消費電力の面では、液晶も低消費電力化が進んでいるため、一般的な利用場面では液晶にはかなわないが、黒、暗い色が多い状況では有機ELのほうが有利である。
色純度・色再現性 液晶は動作原理上、パネル面からバックライトの光が漏れるために、例えば光の三原色のR(赤)だけで階調表現をしようとすると、暗部ではG(緑)とB(青)からの光も入り込んでしまい色純度が落ちる欠点があるが、有機ELは素子の自発光である事から、不要な色の発光を完全に止める事ができるので、暗部の階調表現でも高い色純度を維持できる話題の次世代ディスプレイ「有機EL」って何? 価格.comマガジン 2016年12月26日。 また、色再現性や発色性にも優れており、Adobe RGB比はサムスンの「GALAXY Tab S」で約94%レビュー:GALAXY Tab Sのスーパー有機ELディスプレイの優位性 RINGO-SANCO 2014年8月5日、デルの4K有機ELディスプレイ「UltraSharp 30 OLED」で100%となっているDELL、4K有機EL「UltraSharp 30 OLED」を発表 ―PC向けディスプレイ GGSOKU 2016年1月8日。但し、白色有機EL+カラーフィルター方式では、液晶と同じカラーフィルターによる発色のため、RGB3色塗り分け方式よりも色域が狭く、色再現性も劣るLGが有機ELテレビでSamsungより先行した理由を考える 蹴茶 2013年1月4日。
コントラスト比 前述の通り有機ELは素子の自発光のため、発光を止めることで黒が明確に表現でき、測定が困難なほどの高コントラスト比を達成できる。液晶テレビは1000:1程度に対し、ソニーの有機ELテレビはXEL-1のコントラスト比が100万:1と公称XEL-1商品情報 ソニー株式会社。 但し、屋外の太陽光などが入り込む状況では、液晶と比較してもコントラスト・視認性が大きく落ちるため、モバイル機器用途などにおける課題となっている(液晶としてはモバイルASV液晶などが半透過型パネルとなっており、屋外でも比較的高い視認性を維持できる)が、近年はディスプレイの輝度の向上により、その課題も改善されつつある。
磁気の影響 ブラウン管とは異なり、磁気の影響を受けない。
サイズ ガラス基板2枚ではさみ込む構造の液晶と違い基板は1枚であり、加えてバックライトが不要であるために薄型化が可能とされる。発光層の保護のための封止層が課題であるが、無機および有機の薄膜を用いたベタ封止方式が開発されている。
フレキシブル プラスチックなどの基板を使った、柔らかくて折り曲げることができるディスプレイの試作品が発表されている。しかしプラスチックシートやステンレスシートを基板に使用すると酸素などを透過して発光体を劣化させ寿命を短くしてしまうため、製品化にはフレキシブルな封止層あるいは封止などの本来不要な技術が必要となる。
寿命 発光体の有機物は通電および酸素や湿気の影響により徐々に劣化して輝度が低下する。この問題は発光体の研究と空気から遮断する封止技術により急速に改善されてきており、最新の各社製品では50,000時間以上といったモバイル機器には十分な寿命を確保できる水準に達してきている。ただし各社発表の公称寿命と実測寿命との乖離が指摘されており、実際には問題が見受けられたソニーの有機ELテレビXEL-1、寿命は公称の約半分という予測。 2014年現在では発光材料の寿命は青以外では燐光を用いても十分なものが確保されているUniversal Display Corporation。 蒸着に比べて寿命が短いとされる可溶性材料についても、2011年11月には住友化学が寿命について「必要な水準を達成できた」と量産の発表するなど住友化学、有機ELで新材料 大画面テレビ向け量産 日本経済新聞 2011年11月20日、実用化にめどがついている。
コスト 原理的には液晶ディスプレイより単純な構造が可能であるため、液晶ディスプレイより製造コストが下がることが期待されている。
大型化 大型化するとドット落ちや全体の均質化などの問題により、歩留まりが悪化する。また、大型化で課題の多いパッシブ駆動を避けてアクティブ駆動を採用するためには多数の製造技術と大きな設備投資が必要になる。液晶の大型化と同様、着実な不良原因の解析と対策が必要になると思われる。発光層の膜厚はTFT薄膜デバイスより薄いため、パーティクルの削減が重要な課題の1つである。現在はアクティブ駆動用バックプレーンとして低温多結晶シリコン(ポリシリコン、LTPSとも言われる)が製品として用いられているが、低コスト化・大画面化のためにアモルファスシリコンや微結晶シリコン等の代替技術を用いた方法が提唱されているT.Tsujimura et al., "A 20-inch OLED Display Driven by Super-Amorphous-Silicon Technology," SID Digest, Vol.34, pp.6-9, May 2003F.Templier et al, "Development of nanocrystalline silicon thin film transistors with low-leakage and high stability for AMOLED displays", IDMC2006 Digest, p.1705, 2006。2011年現在、酸化物半導体(IGZOなど)を用いたTFTの採用が期待されている。2013年に販売を開始したLGの大型有機ELテレビでは酸化物半導体バックプレーン、白色有機EL+カラーフィルター方式を採用し歩留まりを改善、低コスト化を実現している。対するサムスンでは同じく2013年に、LTPSにFMM(メタルマスク)によるRGB塗り分け方式を採用した大型テレビを発売するものの、歩留まりなどの問題をなかなか改善できず、2014年に販売を凍結していたが、2022年に同社は量子ドット+カラーフィルター方式の大型有機ELテレビを発売し、歩留まりなどの問題を徐々に改善して、実用化に成功している。
画面の大型化に伴って画素サイズが大きくなると肉眼で単独の画素が見えてしまうという問題解決のために、さらに800万画素(4,096×2,160)程度の高解像度が求められるようになっている。これによって、各画素に与えられる駆動時間の減少とRC(抵抗と容量成分)による信号の立ち上がり遅延が新たな解決すべき課題となっているJang Yeon Kwon著「酸化物TFTでディスプレイ開発」『日経エレクトロニクス』2008年5月5日号 日経BP社。