走査型拡がり抵抗顕微鏡

走査型拡がり抵抗顕微鏡（そうさがたひろがりていこうけんびきょう、Scanning Spread Resistance Microscopy : SSRM）は走査型プローブ顕微鏡の一種。

概要 接触型原子間力顕微鏡(CAFM)の原理を応用して試料表面の形状と局所的な抵抗分布を可視化するために使用される。

接触型AFMを基に、試料表面を接触モードAFMのフィードバック制御を利用してカンチレバーの探針の接触圧を強くして走査して導電性の高い探針の使用により、試料に印加した電圧の探針接触位置における試料表面での微小電流を測定することで、試料表面の局所的な抵抗分布が測定され、探針直下の試料内部の抵抗値は試料の構成により、絶縁体に近い場合もあることから、広いレンジの増幅率を備える電流検出アンプが不可欠で、プローブの先端とサンプル表面との接触を維持するために、カンチレバーに大きな荷重力が加えられる可能性があり、サンプルの材料特性に応じて、サンプルとの接触点で塑性変形が発生する可能性があります。

用途 半導体材料のドーパントの分布測定 集積回路の欠陥解析

脚注

参考文献 Shafai, C., et al. "Delineation of semiconductor doping by scanning resistance microscopy." Applied physics letters 64.3 (1994): 342-344.

関連項目 走査型プローブ顕微鏡 原子間力顕微鏡 磁気力顕微鏡 走査型SQUID顕微鏡 NV中心磁気顕微鏡