ロボナノ

ロボナノ (ROBONANO) は、ファナックが製造・販売する、超精密ナノ加工機である"FANUC ROBONANO α-0iB series - ファナック株式会社". 2018年3月4日閲覧。。

最新機種はα-NMiAである。搭載されているCNCはFANUC Series 30i-B5。

ホログラムやフレネルレンズ、ヘッドアップディスプレイの金型加工などに用いられる"FANUC ROBONANO α-NMiA - FANUC Europe", 2018年3月4日閲覧。

特徴基幹部品であるCNC、リニアモータ、アンプが内製化されており、ファナックの最先端のサーボ技術が応用されている。 0.1 nm単位のプログラム指令が可能である"nano tech 2018 第12回みがき作業なしでの鏡面仕上げを実現する加工機 - マイナビニュース", 2018年3月4日閲覧。同時5軸制御に対応しており、ミーリング加工、引き切り加工、旋削加工が可能である。加工後、機上でワーク形状の計測および補正加工することも可能である。 A4サイズまでのワークの加工を行える。直動軸と割出軸に油静圧軸受を採用することで、バックラッシュやスティックスリップをなくしている。また、直動軸はリニアモータ、回転軸はビルトインサーボモータにより、全軸がダイレクトドライブされている。床の振動を吸収するアクティブダンパを備えている。

脚注

出典

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