Deposição induzida por feixe de elétrons (citado na literatura como EBID, do inglês electron beam-induced deposition) é um processo de decomposição de moléculas gasosas por um feixe de elétrons conduzindo à deposição de fragmentos não voláteis em um substrato próximo. O feixe de elétrons é geralmente fornecido por um microscópio eletrônico de varredura que resulta em exatidão espacial elevada (abaixo de um nanômetro) e possibilidade de produzir estruturas tridimensionais independentes.
Processo Feixe de elétrons focalizado de um microscópio eletrônico de varredura (MEV) ou microscópio eletrônico de varredura por transmissão (MEVT) é comumente usado. Feixe de íon focalizado pode ser aplicado alternativamente, mas então o processo é chamado deposição induzida por feixe de íons (citado na literatura como IBID), do inglês ion beam-induced deposition). O material precursor é um gás, líquido ou um sólido. Sólidos ou líquidos são gaseificados antes da deposição, geralmente através de vaporização ou sublimação, e introduzidos, a uma taxa controlada com precisão, na câmara de vácuo do microscópio eletrônico. Alternativamente, precursor sólido é sublimado pelo próprio feixe de elétrons.
Quando a deposição ocorre a uma temperatura elevada ou envolve gases corrosivos, uma câmara de deposição especialmente projetada é usada; isolada do microscópio, e o feixe é introduzido nela através de um orifício de tamanho micrométrico. O orifício de pequeno tamanho mantém a pressão diferencial no microscópio (vácuo) e da câmara de deposição (sem vácuo). Tal modo de deposição tem sido utilizada para EBID de diamante."Electron beam activated plasma chemical vapour deposition of polycrystalline diamond films" Phys. Stat. Solidi (a) 151 (1995) 107
Bibliografia
"Nanofabrication: Fundamentals and Applications" Ed.: Ampere A. Tseng, World Scientific Publishing Company (March 4, 2008), ISBN 9812700765 , ISBN 978-9812700766 K. Molhave: "Tools for in-situ manipulations and characterization of nanostructures", PhD thesis, Technical University of Denmark, 2004
Categoria:Nanotecnologia Categoria:Microscopia