Евге́ний Серге́евич Го́рнев (род. 4 августа 1943 года) — советский и российский учёный, специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах. Заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям, АО «НИИ молекулярной электроники» (НИИМЭ). Доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАН (2019), лауреат Государственной премии СССР и премии Правительства РФ в области науки и техники (дважды).
Биография
Родился 4 августа 1943 года.
В 1966 году окончил радиофизический факультет Харьковского государственного университета.
С 1966 по настоящее время работает в АО "НИИ молекулярной электроники" (НИИМЭ), пройдя путь от инженера до первого заместителя директора НИИ. В настоящее время занимает должность заместителя руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям АО "НИИМЭ".
В 1967 году входил в состав коллектива, разработавшего интегральную микросхему (ИС) токового ключа «Иртыш» (101КП1), с которой начинались все каталоги советских ИС.
15 ноября 2019 года избран член-корреспондентом РАН по Отделению нанотехнологий и информационных технологий.
Научная деятельность
Специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах.
Автор и соавтор более 300 научных работ, из них 3-х учебных пособий, и 42 авторских свидетельств и/или патентов.
Основные достижения: обобщил, научно обосновал и разработал технические решения для создания современного микроэлектронного производства, на основе чего создал модель промышленной субмикронной технологии как системы и систему управления микроэлектронным производством; под его руководством и с его непосредственным участием разработаны решения многовариантной технологии КМОП, биполярных и БиКМОП на базе универсального маршрута, с достоинствами биполярных и КМОП микросхем; создана система управления на основе мониторинга техпроцесса, контроля дефектности и методов статрегулирования; исследованы, обоснованы и созданы методы контроля линейных размеров элементов СБИС микро- и нанометрового диапазонов с созданием универсальной линейной меры мирового уровня; создано, модернизировано и внедрено более 40 различных вариантов технологий, разработаны с одновременной постановкой на производство в процессе ОКР более 50 типов микросхем, модернизировано более 100 типов, организовано производство 87 серий микросхем, в том числе в Польше; разработана и освоена промышленная технология сегнетоэлектрических плёнок для микро- и наносистемной техники и изделий на их основе, изделий пьезотехники, акустоэлектроники, совместимых с технологиями микро- и наноэлектроники и МЭМС.
Вел преподавательскую деятельность в МИЭТ, МИРЭА.,В настоящее время — профессор и заместитель заведующего базовой кафедры «микро- и наноэлектроника» МФТИ.
Член редколлегии журналов «Микроэлектроника», «Микро- и наносистемная техника», «Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника».
Член научного Совета «Квантовые технологии» при президиуме РАН и научного Совета «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных систем и материалов для её создания» ОНИТ РАН, председатель 4-х диссертационных советов МФТИ, член диссертационного совета Д 002.081.01.
Награды и премии
Государственная премия СССР (1986) премия Правительства РФ в области науки и техники (2004, 2019) орден Почёта (5 февраля 2024) — за большой вклад в развитие отечественной науки, многолетнюю плодотворную деятельность и в связи с 300-летием со дня основания Российской академии наук орден Дружбы народов (1982) Почётная грамота Российской академии наук (1 марта 2023) — за многолетний плодотворный труд на благо российской науки, высокий профессионализм, большой вклад в проведение фундаментальных и прикладных научных исследований в области микро- и наноэлектроники, успешную научно-организационную деятельность и подготовку научных кадров высшей квалификации золотая медаль ВДНХ медаль международного смотра НТТМ нагрудный знак «Почетный работник электронной промышленности» нагрудный знак «Отличник соцсоревнования электронной промышленности» медаль лауреата Всероссийского конкурса «Инженер года» (2001)
Примечания
Ссылки
Категория:Выпускники Харьковского университета Категория:Преподаватели Московского физико-технического института Категория:Преподаватели МИЭТа Категория:Преподаватели РТУ МИРЭА